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硅片機器人electronic
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發(fā)布日期:2021/9/14 訪問次數(shù):2592 來源:未知 作者:網(wǎng)站管理員
SHD 超重型雙臂和 SHD 主體系列 SHD
SHD 系列機器人用于需要更高結(jié)構(gòu)剛度的地方。 集成的 2 通道真空顯示器具有最高的可靠性和精度。
特征
優(yōu)異的結(jié)構(gòu)剛性
晶圓處理可達 450 毫米
最大的可靠性和精度
將線性軌道輕松連接到機器人控制器
運行非常流暢
無間隙 Harmonic Drive® 齒輪
絕對式編碼器
集成 2 通道真空顯示器
包括“高級”控制器和軟件
MTBF:> 50,000 工作小時
德國制造
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